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當前位置:首頁產品中心C系列氣相沉積爐CVD/PECVD系統化學氣相沉積(ji)爐(CVD系(xi)統)

化學氣相沉積爐(CVD系統)

產品簡介

這款CVD系(xi)統(tong)集(ji)真(zhen)空(kong)管式爐,多通(tong)道氣路(lu)系(xi)統(tong)和真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)組成,可(ke)根據(ju)用(yong)戶需要(yao)設計(ji)生產(chan)(有(you)(you)雙(shuang)溫(wen)區、三溫(wen)區、多溫(wen)區),可(ke)預抽(chou)真(zhen)空(kong)(有(you)(you)高真(zhen)空(kong)、低真(zhen)空(kong)),通(tong)多種氣氛(供氣系(xi)統(tong)有(you)(you)質子流量器(qi)和浮子流量控(kong)制器(qi))。性能(neng)(neng)可(ke)靠(kao)。控(kong)制電路(lu)選用(yong)模糊(hu)PID程控(kong)技術,具有(you)(you)控(kong)溫(wen)精度高,溫(wen)沖幅度小(xiao),性能(neng)(neng)可(ke)靠(kao),簡(jian)單易操作等特點(dian)。

產品型號:
更新時間:2024-05-17
廠商性質:生產廠家
訪問量:14886
詳細介紹(shao)在線留言

 一、產品應用

  高真空CVD系統是一款專業在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設備,廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。 

CVD系統

CVD系統

 

二、產品特點

  高(gao)真空CVD系統(tong)主(zhu)要由高(gao)溫(wen)腔(qiang)體、石英管、石英支架、氣(qi)路系統(tong)、分子泵機(ji)組、自動化控制系統(tong)、冷卻系統(tong)等組成。

1、沉(chen)底材料可采用銅(tong)箔(bo)、石墨等;

2、生(sheng)長腔體采用進(jin)口高純石(shi)英管,配(pei)石(shi)英支架(jia)、為(wei)石(shi)墨烯(xi)等材料的(de)生(sheng)長提供潔(jie)凈環境;

3、爐膛采用進口高純氧化鋁(lv)多晶體纖(xian)維,不易(yi)掉粉(fen)、壽(shou)命長且保(bao)溫性能好。加(jia)熱絲(si)采用優質摻(chan)鉬鐵鉻鋁(lv)合(he)金加(jia)熱絲(si),溫場均勻,能耗低(di);

4、密封法蘭均采(cai)用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工(gong)作(zuo);

5、氣路系統采用兩(liang)路質量流量計(可(ke)拓展多(duo)路),配預混(hun)系統;

6、氣體種類: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;

7、溫度、氣(qi)體、真空(kong)、冷卻(que)水(shui)等通過PLC控(kong)制,通過PC實時控(kong)制和顯示(shi)相關的實驗參數,自(zi)動(dong)保(bao)存實驗參數,也(ye)可采用手動(dong)控(kong)制; 

8、系(xi)(xi)統采用集成化設計,控制(zhi)系(xi)(xi)統、混氣罐、質量流量計等均(jun)內置在箱體(ti)(ti)內部,占(zhan)地面積小(xiao)。整體(ti)(ti)安(an)裝(zhuang)四個可移(yi)動輪子,方便整體(ti)(ti)移(yi)動。

三、技術參數 

 

型號

 

 

HTF1200-2.5/20-2F-LV

 

HTF1200-5/20-4F-HV

 

HTF1200-6/40-2M-LV 

 

 

HTF1200-8/40-4M-HV 

 

 

設計溫度(℃)

 

1200 

 

 

1200 

 

 

1200 

 

 

1200 

 

 

控溫精度(℃)

 

±1 

 

 

±1  

 

 

±1  

 

 ±1 

 

 加熱區直徑(mm)

 

25 

 

 

50 

 

 

60 

 

 

80 

 

 

 加熱(re)區長度(mm)

 

200 

 

 

200 

 

 

400 

 

 

400 

 

 

 加(jia)熱管(guan)長度(mm)

 

450 

 

 

450 

 

 

1000 

 

 

1000 

 

 

 恒(heng)溫區(qu)長度(mm)

 

80 

 

 

80 

 

 

150 

 

 

150 

 

 

額定電壓(V)

 

220 

 

 

220 

 

 

220 

 

 

220 

 

 

額定功率(KVA)

 

1.2 

 

 

1.2 

 

 

 

 

 

 

真空機組

 

HTF-101 

 

 

HTF-103 

 

 

HTF-101 

 

 

HTF-103 

 

 

供氣系統

 

HTF-2F 

 

 

HTF-4F 

 

 

HTF-2M 

 

 

HTF-4M 

 

 

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